制造商 |
Taylor hobson(英国) |
型号 |
Talyrond 385 |
测量范围 |
直径范围450mm以内 |
大允许误差MPE/测量不确定度U |
主轴MPE:±0.02 μm |
应用 |
圆度和圆柱形几何形状的高精度测量 |
装置特点 |
精度高,稳定性好,能实现全自动调心调平 |
Talyrond 385/365 是全自动化的圆度/圆柱度的精密测量仪,具有亚微米级的测量精度和可靠性。该系统有6套不同的装置以供用户选择,几乎适用于各种尺寸及自动化的实际测量。先进电子技术的采用使得所有仪器轴得到精密而快速的自动化控制,并且由于针对测量速度与移动速度的综合考虑致使此仪器可进行高难度测量。泰勒霍普森的横臂方位装置能使触针以各种不同的方式接触工件。从而使Talyrond 385成为实用的多功能工业圆度仪。Talyrond 385与365基本相同;Talyrond 395适用于测量精度达到纳米级的工件,它的主轴采用*精密气浮轴承,精度达到±0.01μm,测头分辨率达到1.2nm。Talyrond 440/450为重载圆柱度仪。
Talyrond 圆度仪/圆柱度仪技术特点:
▪ 全自动控制的机械式横臂定位/导向
▪ 自动标定传感器
▪ 具有跟踪方式的自动调心与调平
▪ 高精密气体轴承主轴精度达+/- 0.02um
▪ 仪器传感器分辨率达1.2nm
▪ 300mm,500mm 和 900mm 的立柱
主要特性:
自动校准:可以在少于10秒的时间里完成对Talymin 5测头的校准;
自动调心和调平:在调心的过程中,主轴连续转动。这中“动态平衡”是一种很好的计量方法,并且可以加快调心过程;默认的调节后偏心量小于0.8μm,可以保证不同的操作者的一致性和重复性;
自动跟从模式:当测量时的误差值超出测头的测量量程时,Talyrond 365的横臂和立柱能够自动地根据被测工件的偏心量和大致轮廓进行移动,这样就不必再进行手动调心,并且减少了昂贵的工件夹具的使用;
横臂轴和立柱轴:Talyrond 365采用了精密玻璃光栅尺和*级的电气定位控制系统,在横臂轴和立柱轴两个方向都可以进行高精密直线度测量。采样点数可以达到200000,分辨率可以达到0.25μm;
Talymin 5测头:量程大值可以达到+/-1mm,小分辨率为0.0012μm,限位保护,超微力控制结构;
测头定位结构:无论测头的方向如何,测头端部球的中心都是恒定不变的;3D柱体显示;
高精密气浮主轴:径向跳到误差小于0.02μm、锥度值小于0.003μm/mm、利用玻璃编码器进行采样,点数可以达到18000点;
Talyrond 365的测量部件都是由Ultra软件控制的,它是一款具有Windows操作界面的软件,分析功能有圆度、圆柱度、立柱方向的直线度、横臂方向的直线度、平行度、平面度(单平面或多平面)、垂直度、同心度和偏心度、同轴度、谐波分析、公差计算、柱体显示、非全圆的圆度、非全圆的平面度;
分析功能 | |
标准软件 |
圆度圆柱度同心度偏心量垂直方向的直线度水平方向的直线度垂直度同轴度全跳到圆跳动非全圆的圆度非全圆的平面度 谐波分析倾斜度平面度平行度柱体显示对平面的平面度DFTPDFTC径向直线度 |
可选软件功能 |
柱体3D显示换向器分析速度分析 RTA分析活塞测量光盘厚度测量壁厚测量槽分析 |
滤波器 |
相位纠偏2CR和高斯滤波器,滤波频率可选择范围为1-1500UPR |
测量范围 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
可测工件的大直径 |
φ400mm(可以扩展到500mm) |
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可测工件的大高度 | 300mm | 500mm | 900mm |
可测工件孔的大深度 | 160mm | ||
可以测量的大直径 | φ350(可扩展到450mm) | ||
工件的大重量 |
自动调心调平:75kg;手动调心调平:20kg |
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工作台的大承载 | 自动调心调平:1250kg/mm,手动调心调平:120kg/mm | ||
测量仪尺寸 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
仪器宽度 | 870mm | ||
仪器厚度 | 705mm | ||
仪器高度 | 1460mm | 1660mm | 2260mm |
工作台的高度 | 890 | ||
仪器的操作空间尺寸 | 900mmX850mmX750mm | ||
推荐仪器安装的所需面积 | 1000mmx800mm+工作站 | ||
仪器的公称重量 | 276kg | 286kg | 299kg |
立柱 | 300mm立柱 | 500mm立柱 | 900mm立柱 | |
(1)立柱行程: | 300mm | 500mm | 900mm | |
(2)全程直线度误差: | 0.3μm/300mm | 0.3μm/500mm | 1.0um/900mm | |
(3)任意100mm直线度误差 | 0.15um/100mm | 0.15μm/100mm | 0.3μm/100mm | |
(4)立柱对主轴的平行度: | 0.5μm/300mm | 1μm/500mm | 2μm/900mm | |
(5)位置控制: | ±5μm | ±5um | ±10μm | |
(6)移动速度: | 0.25-20mm/秒(移动和测量) , 0.5-5mm/秒(接触) | |||
(7)长度测量: | 0.03μm/mm + 1.5μm | |||
(8)位定位分辨率: | 0.25μm | |||
(9)采样数据点: | *多20000可选) |
主轴 | |
主轴结构 | 超精密气浮轴承 |
转速 | 0.6,1,2,6,10rpm,双向 |
径向误差(工作台面以上) | ±(0.02μm+0.0003μm/mm) |
轴向误差 | ± (0.02μm+0.0003μm/mm) |
相位控制 | ±0.28 |
相位分辨率 | 0.02° |
小转到角度 | 0.1° |
采样点数(可选择) | 大值:18000 |
水平横臂 | 径向直线度单元(RSU) | 机动径向臂(MRA) |
(1)横臂材料: | 陶瓷 | 铝 |
(2)行程 | 200mm | 200mm |
(3)全程直线度误差: | 0.25μm/200mm | 不适用 |
(4)任意行程的直线度误差 | 0.125μm+0.000625μm/mm | 不适用 |
(5)对主轴的垂直度: | 1μm/200mm | 不适用. |
(6)移动速度: | 0.25-15mm/秒(移动) | 0.25-15mm/秒(移动) |
0.25-15mm/秒(测量) | 不适用 | |
0.5-5mm/秒(接触) | 0.5-5mm/秒(接触) | |
(7)过中心的行程 | 25mm | 25mm |
(8)位置控制: | ±5μm | +5μm |
(9)径向测量: | 0.05um/mm + 1.5um | 0.05μm/mm + 1.5μm |
(10)位定位分辨率: | 0.25μm | 0.25μm |
(11) *小移动量: | 0.05mm | 0.05mm |
(12)采样数据点: | *多20000(可选) | 不适用 |
调心和调平轴 | 全自动式 | 手动式 |
结构 | 已经获得**的三点弹性支撑技术 | 已经获得**的三点弹性支撑技术 |
调平和调心台控制 | 主轴连续转动 | 手动 |
调心和调平自动模式 | Yes | N/A |
调心范围 | ±5mm | ±1mm |
调平范围 | ±0.5° | ±0.25° |
工作台以上的中性面高度 | N/A | 20mm |
自动调心的可实现精度 | <0.8 | N/A |
自动调平的可实现精度 | <0.8arc secs | N/A |
工作台直径 | 300mm | 190mm |
测头定位和测头(手动方式) | 气源 | ||
姿势 | 水平或竖直 | 气源压力 | 5.5-10.3bar |
竖直定位 | 延伸/收缩 | 稳压器 | 3.5bar |
水平定位 | 上升/下降/延伸/收缩 | 气体颗粒多尺寸 | 5micron |
测头类型 | Talymin 5 | 露点 | -20℃ |
额定量程 | ±1mm | 操作时的气流量 | 150liters/minutes |
额定分辨率 | 0.03μm | 压力 | 5.3ft3/minute |
测头接触力 | 0-15g可调 | 大油量 | 25mg/m3 |
支撑角度 | 可调 | 固体颗粒 | 5mg/m3 |